1.1亿大单落地!上海微电子SSC800/10光刻机中标 行业资讯 2025年12月25日,中国政府采购网一则公告引爆国产半导体圈:上海微电子以1.1亿元成交价,斩获科学技术部步进扫描式光刻机采购项目,中标设备型号为SSC800/10,这一突破为国产光刻机市场化迈出里程碑式一步。作为国内唯一具备先进前道光刻机研发制造能力的企业,上海微电子此次中标设备实力硬核:分辨率≤110nm、套刻精度≤15nm,可支持微米级乃至亚微米级结构的高稳定加工,更是万通道级神经电极制造 芯城品牌采购网 2025-12-26 6006 上海微电子SSC800/10光刻机